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生產(chǎn)型GaNMOCVD設備控制系統軟件設計

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  • 更新日期：2014-07-15 11:34
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對“用于GaN的生產(chǎn)型MOCVD”設備控制系統的軟/硬件結構、關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了描述,介紹了國外幾種生產(chǎn)型GaNMOCVD設備控制系統的特點(diǎn);分析了MOCVD設備控制技術(shù)的發(fā)展趨勢。
 
 
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