LED測試包括光致發(fā)光測試(Photoluminescence; PL)及電致發(fā)光測試(Electroluminescence; EL),前者能在不接觸且不損壞LED芯片的情況下,對LED芯片進(jìn)行測試,但檢測效果跟EL測試相比略為遜色,無(wú)法確實(shí)發(fā)現所有瑕疵,可能降低后續的生產(chǎn)良率。相反的,EL測試透過(guò)通電LED芯片來(lái)進(jìn)行測試,能夠找出更多缺陷,卻可能因接觸而造成芯片損傷。而Micro LED由于芯片體積過(guò)小,難以適用傳統測試設備,以EL檢測的難度相當高,但PL測試又可能出現遺漏,造成檢測效率不佳。
因此,技術(shù)開(kāi)發(fā)人員與設備制造商持續精進(jìn)研發(fā)巨量測試技術(shù),以提高檢測效率,同時(shí)避免損及芯片。廈門(mén)大學(xué)與新竹交大的研究團隊合力研發(fā)了一種攝影機型顯微成像系統作Micro LED測試使用,該系統結合了計算機、電流、數位攝影機、電流供應棒與顯微鏡搭配支援軟件,能夠捕捉并分析顯微鏡影像,測量 Micro LED芯片的亮度。
設備專(zhuān)門(mén)廠(chǎng)柯尼卡美能達集團(Konica Minolta Group)也已通過(guò)德國 Instrument Systems 和美國瑞淀光學(xué)系統(Radiant Vision Systems)兩家附屬公司著(zhù)手開(kāi)發(fā)Micro LED與Mini LED檢測系統,該集團所涉領(lǐng)域廣泛,包括伽瑪校正、均勻度與LED芯片檢測等。
由于Micro LED晶粒體積小,如何在挑出缺陷晶粒之后有效維修并替換,也成了一項艱巨任務(wù)。Micro LED顯示器廠(chǎng)商目前使用的修復方案包括紫外線(xiàn)照射維修技術(shù)、雷射融斷維修技術(shù)、選擇性拾取維修技術(shù)、選擇性雷射維修技術(shù)及備援電路設計方案。
美國新創(chuàng )公司Tesoro提出制程檢測方案,結合了非接觸型EL測試與波束定位 (BAR) 的轉移方法,能夠只將好的Micro LED芯片高速轉移到目標基板上。
日本設備廠(chǎng)Toray則推出Micro LED檢修解決方案,以光線(xiàn)自動(dòng)檢測工具進(jìn)行零接觸檢測,檢測完以后使用其雷射修剪工具,根據檢測結果剔除Micro LED芯片不良品。
Micro LED 顯示器生產(chǎn)成本大部分源自于修復與巨量轉移,甚至表示如果要達成更高良率,關(guān)鍵仍在于整個(gè)制程的提升,從磊晶硅晶圓片到巨量轉移。