無(wú)論是中科宏微、還是廣東昭信,再或是中微半導體,三家在材料與裝備技術(shù)分會(huì )上對MOCVD設備志在必得的開(kāi)發(fā)投產(chǎn)之勢,顯然讓國際廠(chǎng)商有了緊迫感。
“我們的愿望是向市場(chǎng)提供MOCVD傻瓜機,客戶(hù)只要第一次了解設備如何使用,今后按照設定好的程序就能比較輕松地完成設備的使用,并實(shí)現了從生產(chǎn)到制造的完全標準化和100%國產(chǎn)化。”廣東昭信半導體裝備制造有限公司技術(shù)代表甘志銀在臺上的發(fā)聲渾厚又清晰,“我們在研發(fā)過(guò)程采取了全程仿真設計,2005年開(kāi)始研發(fā),2009年投資試產(chǎn),流程循環(huán)也已進(jìn)行完畢,包括備受關(guān)注的溫度如何保持穩定性和均勻性,都將在12月底徹底完成,他還表示,預計在明年年底推出企業(yè)的MOCVD。”
在競爭愈發(fā)激烈時(shí)推出自產(chǎn)MOCVD,這是甘志銀為企業(yè)發(fā)展做出的注腳,志在必得之勢溢于言表。又豈止是昭信,中科宏微技術(shù)代表胡強全程介紹其研發(fā)的產(chǎn)品時(shí)的自信與娓娓道來(lái),以及二人介紹完畢后與會(huì )者提出的問(wèn)題顯然讓與會(huì )國際廠(chǎng)商愛(ài)思強、維易科和賽倫光電相關(guān)技術(shù)代表有所沉思。這在愛(ài)思強技術(shù)代表Andreas Toennis 隨后的AIXTRON技術(shù)介紹中可見(jiàn)端倪:“價(jià)格降低需要價(jià)值鏈中每一個(gè)企業(yè)為之努力,降低成本可以提高消費者的接納度,·····我們要通過(guò)不斷地進(jìn)行技術(shù)改進(jìn),保持設備的生產(chǎn)能力和靈活度。”
國際廠(chǎng)商的壓力感在記者隨后對會(huì )議主持人南京大學(xué)電子學(xué)院博士生導師、南京大學(xué)揚州光電研究院院長(cháng)陳鵬教授的采訪(fǎng)中也得到了驗證。
陳鵬教授認為,這次技術(shù)會(huì )議給他的感受有兩點(diǎn)。一是國產(chǎn)化MOCVD發(fā)展迅速,雖然沒(méi)有大面積鋪開(kāi),但一些設備已經(jīng)開(kāi)始進(jìn)入試用階段,從技術(shù)來(lái)看,無(wú)論是容量還是性能與國際水平在逐漸靠近,設計理念、結構包括科學(xué)性也可與國際技術(shù)相比擬,“雖然在報告上看,細致和研究程度與愛(ài)思強和維易科還存在差距,但發(fā)展與前兩年不一樣,有較大進(jìn)展。”
對于國產(chǎn)化MOCVD迅速發(fā)展對于國際廠(chǎng)商的影響,陳鵬認為,國際廠(chǎng)商的壓力并不在于國產(chǎn)化設備推出對其獲取高額利潤的影響,正如愛(ài)思強技術(shù)代表Andreas Toennis 所說(shuō),愛(ài)思強會(huì )不斷通過(guò)技術(shù)改進(jìn)保持設備的生產(chǎn)能力和靈活度。從技術(shù)來(lái)講,國產(chǎn)MOCVD只是其中的一種機型,愛(ài)思強和維易科完全可以憑借技術(shù)優(yōu)勢不斷推出設備的加強升級版,從價(jià)格策略看,其也不會(huì )輕易采取降低設備價(jià)格來(lái)贏(yíng)取市場(chǎng),畢竟現在還無(wú)人超越。況且中國政府也為企業(yè)購買(mǎi)進(jìn)口設備提供了較大幅度的補貼,因此,目前來(lái)講,價(jià)格并不是這些國際廠(chǎng)商主要的壓力。危機感在于,一旦國產(chǎn)化設備技術(shù)成熟,正式投入使用,那時(shí)就不是價(jià)格問(wèn)題,而是市場(chǎng)份額減少,這遠遠大于降低價(jià)格對企業(yè)產(chǎn)生的影響。“從這次報告來(lái)看,國內設備的生長(cháng)機制和運行規律遠未達到他們研究的深度和廣度,但他們仍對這次技術(shù)報告一場(chǎng)不落,足見(jiàn)對國內MOCVD進(jìn)展的關(guān)注和重視。國內設備已進(jìn)入到應用的門(mén)檻上。”
除裝備技術(shù)外,本次會(huì )議展示的新材料技術(shù)雖不乏亮點(diǎn),但整體而言,陳鵬認為,與MOCVD相比,從材料的性能和新應用方面,技術(shù)進(jìn)展略顯遲緩,不似前幾年突飛猛進(jìn)。表現在流明每瓦的器件效率仍停留在100~150之間,突破150的技術(shù)跡象并未發(fā)現。其次是,LED應用和滲透領(lǐng)域很多,諸如手機、顯示、背光以及通用照明等,但這次展現的材料都是老材料,鮮見(jiàn)新材料。因此,他表示,在新材料的應用和性能研究上還可進(jìn)一步挖掘。