
即便在藍寶石生產(chǎn)工藝上,是使用熱交換法還是泡生法依舊存在爭議,但許多業(yè)內人士預測2015年將是LED照明產(chǎn)業(yè)爆發(fā)的元年,借助藍寶石材料在LED行業(yè)被廣泛應用于芯片襯底,國內生產(chǎn)藍寶石晶體和襯底的廠(chǎng)商、以及許多芯片大廠(chǎng)趁勢發(fā)力,奪取以往被國外領(lǐng)先大廠(chǎng)霸占的市場(chǎng)份額。
以華燦光電股份有限公司為例,2014年10月發(fā)布公告稱(chēng),擬計劃在武漢現有廠(chǎng)區內進(jìn)行“PSS藍寶石襯底片擴產(chǎn)項目”的建設,投資1289萬(wàn)元新增年生產(chǎn)96萬(wàn)片2英寸PSS襯底片的生產(chǎn)能力,力求不落人后。
現階段LED芯片以藍寶石為主要襯底材料,2014年折合2英寸片的藍寶石需求為6091萬(wàn)mm,預計2015年為7453萬(wàn)mm,到2016年將增長(cháng)到8889萬(wàn)mm,年增長(cháng)率保持在20%左右。
伴隨著(zhù)LED芯片價(jià)格不斷下降的趨勢,藍寶石襯底價(jià)格也逐步走低,而襯底大尺寸技術(shù)能降低生產(chǎn)成本,促使國內一部分具備技術(shù)、資金和人才優(yōu)勢的企業(yè),未來(lái)將著(zhù)重向4英寸及更大尺寸襯底上進(jìn)軍,預計未來(lái)兩年內4英寸襯底占有率將達到80%以上。
熱交換法與泡生法 量產(chǎn)晶體
作為前蘋(píng)果屏幕供應商,GTAT曾經(jīng)帶動(dòng)國內藍寶石概念股瘋長(cháng),其長(cháng)晶設備備受?chē)鴥人{寶石企業(yè)追捧,然而宣告破產(chǎn)后光環(huán)不再。國內以貴州皓天為代表購買(mǎi)GTAT設備的企業(yè),卻“仕途”大好。
貴州皓天董事長(cháng)季泳欣喜的表示:“公司目前折合2寸襯底產(chǎn)能已經(jīng)超過(guò)100萬(wàn)片/月,其中165kg長(cháng)晶爐占到10%,其余長(cháng)晶爐也都為115kg級。”
目前來(lái)看,國際上使用的主要長(cháng)晶方法分別是“熱交換法”和“泡生法”,運用熱交換法的GTAT,雖然無(wú)法生產(chǎn)出符合蘋(píng)果公司要求的藍寶石屏幕,但國內使用GTAT設備的企業(yè),已經(jīng)具備了自主研發(fā)、生產(chǎn)的能力,產(chǎn)品是完全可以滿(mǎn)足LED市場(chǎng)需求的。
GTAT熱交換法技術(shù)路線(xiàn)可以成熟量產(chǎn)120kg級別的晶體,較之泡生法技術(shù)路線(xiàn)量產(chǎn)80kg級別的晶體,熱交換法生產(chǎn)出的晶體擁有高品質(zhì)、大尺寸的優(yōu)點(diǎn)?墒枪耪Z(yǔ)有云“魚(yú)與熊掌不可兼得”,熱交換法對長(cháng)晶設備要求高、工藝復雜、成本高昂,更為致命的是生產(chǎn)出的晶體容易開(kāi)裂,因此低缺陷密度、低成本、高產(chǎn)能的泡生法技術(shù)路線(xiàn)在藍寶石晶體市場(chǎng)份額占比高達80%。
世界上領(lǐng)先的藍寶石生產(chǎn)企業(yè)美國Rubicon和俄羅斯Monocrystal,還有國內以南京京晶光電科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng):京晶光電)為代表的藍寶石生產(chǎn)企業(yè),同樣都是采用泡生法技術(shù)路線(xiàn)生產(chǎn)藍寶石晶體。半導體照明行業(yè)70%藍寶石襯底都是采用的這種技術(shù)。
京晶光電常務(wù)副總經(jīng)理鄭松森透露:“我們的長(cháng)晶設備生長(cháng)出的晶體都是大規格的泡生法晶體,目前最小的也是85kg,而120kg級也具備了量產(chǎn)條件。”
現階段每一種技術(shù)路線(xiàn)都有各自的市場(chǎng),“熱交換法”與“泡生法”能成功量產(chǎn)大公斤級別晶體,是基于企業(yè)在生產(chǎn)設備上大規模的引進(jìn)及自身技術(shù)上的不斷完善。
襯底新工藝與大尺寸 推陳出新
國內對于藍寶石襯底的大力投產(chǎn),源于藍寶石襯底在LED行業(yè)襯底材料中難以撼動(dòng)的地位,當前市場(chǎng)上絕大多數的芯片制造商都采用藍寶石襯底。
浙江東晶博藍特光電有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng):博藍特)利用自主研發(fā)的高速甩膜或提拉法均勻涂覆氧化硅納米球做掩膜,并使用ICP干法刻蝕技術(shù)制備出的微納米級圖形尺寸的4英寸半球形和三角錐形藍寶石襯底(PSS),有別于市場(chǎng)上微米級圖形化藍寶石襯底(PSS),因此,博藍特的產(chǎn)品一致性好、密度高、缺陷低。
圖形化藍寶石襯底(PSS)越來(lái)越多的被采用到實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中,這項技術(shù)在提高LED亮度的同時(shí)延長(cháng)了LED的使用壽命。
企業(yè)在藍寶石襯底產(chǎn)品光效提高的同時(shí),對成本的控制也有了一定程度的改善。貴州皓天研發(fā)出的方形襯底獨具匠心,將MOCVD的產(chǎn)能發(fā)揮到最大,產(chǎn)能利用率提高30%以上。
貴州皓天董事長(cháng)季泳介紹:“目前公司除了2寸方形襯底之外,4寸和6寸也可以出貨。因為方形襯底的面積比同尺寸圓形襯底的面積大,對藍寶石制造商工藝的要求更高,目前已經(jīng)給臺灣芯片廠(chǎng)家小批量供貨。”
“在方形襯底加工的過(guò)程中,主要存在以下幾個(gè)難點(diǎn):晶棒加工中的晶向控制和定位倒角的加工,磨拋過(guò)程中BOW和LTV控制,清洗過(guò)程的顆粒度控制。另外,在加工過(guò)程中需根據產(chǎn)品要求,設計新的夾具配合使用。”
即便方形襯底比同尺寸圓形面積大,但其工藝復雜,市場(chǎng)上更多的廠(chǎng)家熱衷于生產(chǎn)圓形的大尺寸襯底,而大尺寸襯底被不斷應用的優(yōu)勢在于大尺寸的晶棒可以降低原材料的損耗,以便在外延片生長(cháng)中外周形成更多的芯片。
企業(yè)推動(dòng)藍寶石襯底產(chǎn)業(yè)發(fā)展
曾在2010—2011年,LED行業(yè)推動(dòng)藍寶石需求看漲,國內新增的藍寶石襯底項目也隨之增多,參與企業(yè)計劃產(chǎn)能達到千萬(wàn)片級。
直至今年,藍寶石襯底業(yè)務(wù)依舊炙手可熱。2014年11月28日浙江東晶電子股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng):東晶電子)發(fā)布晚間公告稱(chēng),公司全資子公司擬與自然人共同出資,設立從事藍寶石材料、襯底片等產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售于一體的浙江東晶新材料有限公司。
東晶電子不僅樂(lè )于開(kāi)拓新領(lǐng)土,早期還擬以現金方式對博藍特增資800萬(wàn)美元,幫助博藍特更好的開(kāi)展LED圖形化藍寶石襯底、外延片和芯片等各項業(yè)務(wù)。
不僅僅是東晶電子看好LED藍寶石襯底市場(chǎng)這塊肥肉,重金增資藍寶石產(chǎn)業(yè),同樣頗有抱負的還有重慶四聯(lián)光電科技有限公司,在2008年順利收購霍尼韋爾藍寶石業(yè)務(wù)后,同年12月占地面積349畝的LED重慶產(chǎn)業(yè)基地奠基,預計到2015年,將建成亞洲最大的藍寶石基地,形成1800萬(wàn)片LED藍寶石基片的年生產(chǎn)能力。

現在看來(lái)行業(yè)內硅襯底技術(shù)炒得火熱,但針對藍寶石襯底的新技術(shù)更利于實(shí)際生產(chǎn)。
就在前不久,中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所劉建平團隊,通過(guò)采用新型藍光LED有源區結構,在平片藍寶石襯底上實(shí)現了超低效率下降的藍光LED。
藍寶石襯底技術(shù)壁壘難以跨越、生產(chǎn)成本高昂的問(wèn)題在越來(lái)越多的企業(yè)參與藍寶石行業(yè)的過(guò)程中得到改善,這將會(huì )縮小國內企業(yè)與國外巨頭擁有專(zhuān)利優(yōu)勢之間的距離。唯有技術(shù)上的不斷更迭轉化為產(chǎn)能,才能帶來(lái)產(chǎn)業(yè)的欣欣向榮,國內藍寶石襯底行業(yè)因此將迎來(lái)井噴時(shí)期。