近日，Veeco宣布歐司朗光電半導體認證通過(guò)了其Lumina MOCVD系統，并將采用此系統生產(chǎn)高端LED產(chǎn)品，助力下一代先進(jìn)光子器件的開(kāi)發(fā)。

歐司朗光電半導體的首席運營(yíng)官Lothar Mergili稱(chēng)，歐司朗的發(fā)展核心就是在需要創(chuàng )新和重新定義技術(shù)限制的的下一代先進(jìn)光子技術(shù)領(lǐng)域保持領(lǐng)先地位。

Mergili指出，事實(shí)證明Lumina MOCVD系統在生產(chǎn)率方面設定了新的標準，可滿(mǎn)足甚至超過(guò)市場(chǎng)要求。Veeco的先進(jìn)MOCVD技術(shù)對于歐司朗而言，發(fā)揮著(zhù)重要作用，未來(lái)也是如此。

Veeco介紹，新型Lumina系統是基于20多年的大容量MOCVD專(zhuān)業(yè)技術(shù)開(kāi)發(fā)的，并擁有公司核心TurboDisc技術(shù)的可靠性能。為了開(kāi)發(fā)下一代器件，歐司朗等領(lǐng)先企業(yè)追求高品質(zhì)薄膜技術(shù)，出色的一致性和可重復性，以及無(wú)可比擬的購置成本，而這些Lumina都能夠滿(mǎn)足。

Lumina系統的核心就是Veeco的MOCVD TurboDisc技術(shù)，該技術(shù)專(zhuān)用于實(shí)現高一致性和缺陷最少化，能夠在直徑達8英寸的晶圓上沉積高質(zhì)量的AsP外延層。

此外，Lumina系統還可用于定制用戶(hù)的系統，以在量產(chǎn)IRED（紅外發(fā)光二極管）、LED、EEL（邊發(fā)射激光器）和VCSEL（垂直腔面發(fā)射激光器）等產(chǎn)品的過(guò)程中實(shí)現價(jià)值最大化。