2月3日消息，近日，以麻省理工學(xué)院為首的研究團隊在《自然》（nature）雜志上宣布，團隊開(kāi)發(fā)出全彩垂直堆疊結構Micro LED，陣列密度高達5100 PPI，尺寸僅為4μm，號稱(chēng)是目前所知擁有最高陣列密度和最小尺寸的Micro LED。
圖片來(lái)源：nature雜志
據介紹，為了實(shí)現高分辨率和微小尺寸的Micro LED，研究人員采用了基于二維材料的層轉移（2D materials based layer transfer (2DLT)）技術(shù)。
該技術(shù)允許通過(guò)遠程外延（remote epitaxy）或范德華（van der Waals epitaxy）外延生長(cháng)、機械釋放和堆疊LED等制作工序，在二維材料涂層襯底上生長(cháng)近亞微米厚度的RGB LED。
研究人員特別指出，僅有9μm的堆疊結構高度是打造高陣列密度Micro LED的關(guān)鍵。
研究團隊還在論文中展示了藍光Micro LED與硅膜晶體管的垂直集成，適配于A(yíng)M主動(dòng)矩陣式驅動(dòng)應用。研究團隊表示，本次研究為制造AR/VR用全彩Micro LED顯示器提供了新路線(xiàn)，同時(shí)也為更廣泛的三維集成設備提供了通用平臺。（LEDinside Irving編譯）
論文鏈接：https://www.nature.com/articles/s41586-022-05612-1
