8月2日，據中微公司官微消息，中微公司宣布其臨港產(chǎn)業(yè)化基地正式啟用。據悉，中微公司臨港產(chǎn)業(yè)化基地占地約157畝、總建筑面積約18萬(wàn)平方米，配備實(shí)驗室、潔凈室、生產(chǎn)車(chē)間及智能化立體倉庫等設施，可實(shí)現生產(chǎn)全程數字化、智能化管理。
圖片來(lái)源：中微公司
項目進(jìn)展方面，2023年7月，14萬(wàn)平方米的中微公司南昌生產(chǎn)研發(fā)基地落成并投入使用；目前，位于滴水湖畔的中微臨港總部暨研發(fā)大樓也正在建設中，建成后占地面積約10萬(wàn)平方米。未來(lái)，中微公司的生產(chǎn)和研發(fā)基地總面積將達到約45萬(wàn)平方米。
業(yè)務(wù)進(jìn)展方面，中微公司在刻蝕設備、薄膜沉積設備、MOCVD設備等領(lǐng)域均取得了突破。在刻蝕設備領(lǐng)域，憑借刻蝕設備雙臺機技術(shù)，中微公司率先提出“皮米級”加工精度概念，其刻蝕精度已經(jīng)達到100“皮米”以下水平，相當于頭發(fā)絲350萬(wàn)分之一的精準度，能夠滿(mǎn)足90%以上的刻蝕應用需求。
半導體薄膜沉積設備領(lǐng)域，中微公司推出了Preforma Uniflex® CW、Preforma Uniflex® HW、Preforma Uniflex® AW等多款新產(chǎn)品。此外，其新開(kāi)發(fā)的硅和鍺硅外延EPI設備、晶圓邊緣Bevel刻蝕設備等多款新產(chǎn)品，也會(huì )在近期投入市場(chǎng)驗證。
在MOCVD設備領(lǐng)域，中微公司自推出第一代MOCVD設備PRISMO A7®以來(lái)，不斷豐富產(chǎn)品線(xiàn)且快速升級迭代，目前在Mini LED等氮化鎵基設備領(lǐng)域，中微公司的市場(chǎng)占有率穩居前列，并持續開(kāi)發(fā)用于氮化鎵、碳化硅等功率器件及Micro-LED器件制造的MOCVD設備。
